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鉴于其独特的生产加工原理和生产加工设备，对环境元素的规定不高，可以达到纳米技术甚至原子规模的生产加工，长期以来已成为超精密加工技术的重要组成部分。抛光机采用水动力原理从工件上漂移，在抛光机表面形成多个楔形槽。当抛光机高速旋转时，工件或抛
